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氮分子激光器的发射带在UV波段,主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。 PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器,由于其独特的性能(波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W),被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亚微米量级的元件。此外,还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
上海瞬渺光电技术有限公司
李小姐
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