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陶瓷电容式压力传感器 这种干式陶瓷传感器可使过程压力直接 作用于陶瓷膜片上（偏移小于0.025mm）。衬底电极和膜片电极可以检测出与压力成比例的电容变化。测量范围由陶瓷膜片的厚度来决定。 扩散硅压阻式压力传感器 过程压力使含有填充液的隔膜发生偏移，并被传送至一个电阻桥路上。与压力成比例的桥路电压将被测量和处理。
西安艾斯博特测控有限公司
周莉
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