质量流量控制器因为其控制器精度高,重复性好,反应速度快。因而受到广大企业的欢迎与支持。它适合半导体,CVD,扩散,真空镀膜,色谱、光纤熔炼,分析仪器,燃料电池,液晶屏,有机EL,生物工程,等离子蚀刻,环境测试,燃烧气体控制,试验设备,焊接,微反应装置、配气和混气系统等各个环节、各个制造过程中的流量控制。
至于质量流量控制器所用的传感器,就是热式流量传感器,热式质量流量计是利用传热原理,即流动中的流体与热源(流体中加热的物体或测量管外加热体)之间热量交换关系来测量流量的仪表。
质量流量控制器 http://www.flowmethod.net