检测认证人脉交流通讯录
- 针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW3d光学轮廓仪表面粗糙度测量设备的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。
SuperViewW以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
产品功能
(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
应用领域
SuperViewW3d光学轮廓仪表面粗糙度测量设备对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
深圳市中图仪器科技有限公司
罗健
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