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TCS208F气体热导传感器

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    • 德国HL P公司TCS208F气体热导传感器,采用先进的MEMS加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。 TCS208F气体热导传感器可广泛应用于天然气,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等气体成份检测,也可用于测量非常小的气体容积变化。 ■ 特点 ■ 应用 测量精度高 天然气的成份和来源分析 灵敏度高 垃圾填埋,沼气池中CO2和CH4含量 集成温度补偿,漂移小 空气混合物中的He或Xe含量 体积小,响应速度快 发电厂氢冷电机组循环气中H2含量 可以测量微小的气体容量 工业窑炉、锅炉的废气中CO2含量 高性价比 化肥厂合成NH3与补充气比例 TO8封装,抗冲击能力强 ■ 性能参数(参考温度25℃) 参 数 最小值 典型值 最大值 单位 阻值Rm1,Rm2 92 100 115 Ω 阻值 Rt1,Rt2 220 240 275 Ω 比值Rtx / (Rm1+Rm2) | x ε {1,2} 1.13 1.2 1.27 阻值差 Rm1 - Rm2 -2.00 +2.00 Ω 温度系数(Rm, Rt) |20°C–100°C 4800 5500 5900 ppm/K 膜热时间常数(τm) <5 ms 气体交换时间常数 <100 ms 漂移| x ε {m,t} ; y ε {1,2} 0.001 0.01 %week 扩散室空间 0.2 mm3 安装空间 100 mm3 ■ 额定参数 参数 最小值 典型值 最大值 单位 加热功率P(Rm1 + Rm2) 30 mW 膜片温度Tm 180 ℃ 环境温度ϑ -20 +85 ℃ ■ 最佳工作参数 参数 最小值 典型值 最大值 单位 加热功率P (Rm1 + Rm2) 5 mW 膜片温度变化 ΔT = Tm -ϑ 30 50 70 ℃ 测量介质 与Si,SiOxNy,Gold,Epoxy兼容气体
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    贾海玉

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