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快速退火炉RTP（保护气氛热处理炉） Heatpulse allwin21 AG 610
- 快速退火炉RTP（保护气氛热处理炉） Heatpulse allwin21 AG 610
本公司的快速退火炉 RTP（保护气氛热处理炉） Allwin21 AG 610 是AG公司的第二代产品，因其优良的温度控制性能、低廉的价格，目前仍受到半导体器件研制开发机构及生产厂家的钟爱，广泛地应用于半导体器件研发及生产等领域。
■ 优越的工艺控制：
• 单片，闭环温度控制；
• 精确的温度控制部件可适用于特殊工艺要求；
• 快速升温与降温控制；
• 工艺重复性高。
■ 工艺用途：
• 离子注入后快速退火；
• 欧姆接触快速合金；
• 硅化物合金退火；
• 氧化物生长；
• 其它快速热处理工艺。
■ 同一般管式高温炉的比较：
• 一般管式高温炉只能设定一个工艺条件（即一个温度条件）；工艺周期长，使用不够灵活；须24小时加电恒温，能耗较高，不适用于生产。
• AG610系列快速退火炉，可以设定多个工艺条件（即多种温度条件）；工艺时间短，使用非常灵活；能耗低；同一台设备既可用于生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。
本公司是一家总部设在美国硅谷的专业半导体设备与技术服务公司。我公司可提供全新或翻新的Allwin21 AG 610 快速退火系统及其备品备件，专业 的技术团队、严格的 质量检验系统，和 快速及时良好的售后服务，已使我公司在客户中取得良好的信誉。
本公司经营全新的、翻新的快速退火炉Allwin21 RTP（保护气氛热处理炉）Heatpulse AG610 、/2010/1034探针台;HP4062/HP4145测试仪;AW-PCM测试软件；探针台Wentworth MP 2020；PECVD等离子增强化学气相淀积系统 STS 310 PECVD_allwin21.
公司在北京、南京、广东等地设有办事机构，致力于为客户提供完善的服务与支持。
(Email: peterchen@allwin21.com http://www.allwin21.com )
