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PCM测试系统EG1034,EG2001,EG2010探针台HP 4062 HP4145测试仪

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  • PCM测试系统EG1034,EG2001,EG2010探针台HP 4062 HP4145测试仪
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    • PCM测试系统EG1034,EG2001,EG2010探针台HP 4062 HP4145测试仪 本公司的Allwin21 AW PCM系统用于半导体生产线或者实验室,可自动进行: (1) PCM (工艺控制模块) 测试. (PCM测试选择) (2) 用于晶片上100%的IC管芯探针检测 (IC测试选择) (3) 直接接入式仪器测试 (接入测试选择) 从另一个角度说,PCM测试包括直流,射频,阻抗,容压等参数的测试。 AW-PCM系统可以直接控制如EG公司的EG2001,EG1034等自动探针台,以及Agilent公司的HP4142(直流)、HP4145A(直流)、HP4145B(直流)、HP4141(直流)、HP4062(直流、包含矩阵开关和阻抗计),HP4275A(阻抗、容压),HP4280A(容压),HP4084A(阻抗、容压),HP8772C(射频、微波),HP4085M矩阵开关;Keithley公司的S280、S350等特征参数测试设备。 在用于晶片上100%的IC管芯探针检测的场合,AW-PCM系统可以直接控制如EG2001,EG1034等自动探针台,HP4062,HP4142,HP4145B,HP4141和HP4085矩阵开关以及S350等特征参数测试设备。 系统还可以作为一种界面操作工具使用在直接接入式仪器测试的场合中:m-gage or Sonagage,alpha-step,Rudolph公司的elepisometer,Nanospec的AFT,晶片测厚仪等等。 系统可以存储每个掩模自动校准信息。测试数据将自动地实时传输到服务器。有些数据可以转换为文本文件或MS-excel文件。 本公司供应快速退火炉RTP(保护气氛热处理炉)Allwin21 AG610 、EG2001/2010/1034探针台;HP4062/HP4145测试仪;AW-PCM测试软件,探针台Wentworth MP 2020;PECVD等离子增强化学气相淀积系统等. (Email: peterchen@allwin21.com http://www.allwin21.com )
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