检测认证人脉交流通讯录
- 结构
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输入电源
220VAC 50/60Hz, 单相
2000W (包括泵)
溅射电源
安装有两个溅射电源
直流（DC）电源：500W，针对于制作金属膜
射频（RF）电源：600W，可制作氧化物和金属膜
同时可选配300W的射频电源
磁控溅射头
仪器中安装有2个磁控溅射头，而且都带有水冷夹层，可通入冷却水对靶材降温
其中一个溅射头与射频电源相连接，主要是溅射绝缘性靶材
另一个溅射头与直流电源相连接，主要溅射导电性靶材
靶材尺寸要求：金属靶：直径为50mm,zui大厚度1.5mm
陶瓷靶：直径为50mm,zui大厚度6mm
仪器中标配一个不锈钢靶和氧化铝陶瓷靶
溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）
也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头，订购前需于本公司销售人员
真空腔体
真空腔体：300 mm Dia x 300 mm h，采用不锈钢制作
观察窗口： 100 mm diameter
腔体打开方式采用上顶开，使得换靶更加容易
载样台
载样台尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底）
载样台可以旋转，其速度为：1 - 20 rpm （可调）
载样台zui高可加热温度为500℃，控温精度为+/- 1.0 °C
气体流量控制器
仪器内部安装有2个质量流量计
量程为：0-200sccm
气体流量设置可以在6英寸的触摸屏上进行操作
真空泵系统
配有一套分子泵系统（德国制作），采用一键式操作
薄膜测厚仪
一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å
LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据
外形尺寸
L1300mm× W660mm× H1200mm
重量
160 kg
质保期
一年质保期，终生维护
https://www.chem17.com/st152911/erlist_1290255.html
http://www.kjmti.com.cn/Products-24006809.html
