OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine-R系列
磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器?电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。
OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine-R系列产品型号：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R/TGkine3400M-R、TGkine3800M-R/TGkine4200M-R
产品特点：
■省电设计
■在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。
■支持多种通信接口规格（兼容EtherCAT通信协定）
■适用于国际规格CE/NRTL/SEMI-S2
使用场合：
■半导体制造设备
■FPD制造设备
■太阳能电池制造设备
■玻璃/镜片等光学部件加工
■镀膜工艺
■加速器/宇宙环境模拟器
更多访问：
http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html