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白光显微干涉仪

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    •   VK-X3000创新点:①扫描方式升级:上一代VK-X1000系列有两种扫描方式(聚焦变化、激光共聚焦),新一代VK-X3000系列升级为三种扫描方式(聚焦变化、激光共聚焦、白光干涉),可以根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式,进行高精度测量。扫描方式升级,最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm,微小形状也能准确获取,支持难以扫描的透明体和镜面体。②配件升级:VK-X1000系列配备的是0.5nm线性标尺,VK-X3000系列升级为0.1nm线性标尺。配备高精度线性标尺,以0.1nm的高分辨率识别物镜的Z位置,从而实现更加细微的凹凸检测。③增加CAD比较测量功能。   产品特性   采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,   以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。   1、Basic Characteristics   观察   从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖   42 至 28800 倍   无需对焦   适用于多种样品   测量   非接触瞬间扫描形状   不会损伤目标物   纳米级别也可准确测量   透明体和坡度大的目标物也可测量   https://www.chem17.com/st525722/product_36940586.html 白光显微干涉仪

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