检测认证人脉交流通讯录
-
提供上海进口真空镀膜机批发端品供
上海端品提供法国纯进口蒸镀设备，自动/手动操作可选。举例如下：
1
高真空镀膜系统腔室，数量：一个：
1.1
矩形双门蒸镀腔，集成在手套箱背部；
1.2
内部尺寸：380x380x500mm（宽x高x深），容积：72L；
1.3
腔体带有内外两个门，内部/外部带有手动关闭结构，材质：铝合金，镀镍，内部：带有滑门，可左右滑动，外部：外门可打开，从事服务和维护工作；
1.4
腔体材质：不锈钢；
1.5
腔体内部带有防护层，以便于拆除和清洁腔体；
1.6
前门带有DN100的观察窗；
1.7
中间有1个DN160 ISO-K高真空接口，周围布置14个基本高真空接口；
1.8
极限真空可达：<9x10-7mbar；
2
高真空镀膜系统真空系统，数量：一套：
2.1
控制单元：西门子或者施耐德控制单元
2.2
操作面板：7’’以上彩色触摸屏，包含镀膜系统可视化操作界面和控制功能
2.3
1套高真空测量系统，测量范围：大气压到极限真空；
2.4
前级泵：旋片式真空油泵，抽速达12m3/h，带有油雾过滤器和气镇；
2.5
高真空分子泵：抽速685l/s（N2），包括控制系统；
3
高真空镀膜系统控制部分，数量：一套：
3.1
QCM传感器输入：4个；
3.2
频率范围：4到6 MHz；
3.3
频率分辨率：+/-0.03Hz在测量周期为0.10秒时；
3.4
频率稳定度：+/- 2ppm，0-50摄氏度；
3.5
测量/更新率：1至10 Hz；
3.6
速率显示精度：0.01埃/秒；
3.7
厚度显示分辨率：0.001 kAngstrom；
3.8
流程：100的进程，1000层，50个膜层；
3.9
4个共蒸膜层；
3.10 可实现共蒸控制；
3.11 接口：RS
-232和USB标准；
3.12 包括Windows软件；
4
1个双热蒸发源：
4.1
两个热蒸发源结构；
4.2
等级：10V@200A=2KVA；
4.3
3个水冷高电压接头；
4.4
1个电源（变压器和控制器）；
5
1个单热蒸发源：
5.1
单个热蒸发源结构；
5.2
等级：10V@200A=2KVA；
5.3
2个水冷高电压接头；
5.4
1个电源（变压器和控制器）；
6
2个单有机蒸发源：
6.1
2套有电源控制的有机蒸发源
6.2
体积：2立方厘米
6.3
坩埚材质：氧化铝
6.4
温度范围：50℃至600℃
6.5
热电偶：K型
6.6
包含：源挡板
7
防交叉污染设计：用于隔离各蒸发源，避免各蒸发源的交叉污染，数量四套；
8
蒸发源挡板：电磁气动挡板，高度可调，数量：一个；
9
晶振探头：用于测量镀膜厚度，定位灵活，高度可调，水冷，含10个备用晶振片，数量：两个；
10 样品台挡板，电磁气动挡板用于保护基片免受非稳定蒸镀材料沉积，挡板高度可调节，数量：一个；
11 样品台，用于夹持蒸镀腔体内的基片， 基片台直径达150mm，衬底旋转速度可调（0-33 RPM），数量：一个。
