工具显微镜采用通用L2-50落射照明器，亮视场、大视野无闪烁正像，如明场、暗场、简易偏光、DIC微分干涉落射荧光。工作台铸铁采用天然失效处理，工作台配有快速释放机构，方便X/Y传动，单手即可实现快速移动工作台。

    广泛应用半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板（LCM）、MEMS、晶片级CSP、硬盘滑行磁头等产品领域。

    仪器型号：QI-U2010         QI-U3020

    测量行程：200*100mm     300*200mm

    分辨率：0.001mm

    测量精度：（ 2+L/200）μm,L无负载测量长度（mm）

    三目镜头10X  四孔物镜转换器含50X超长距离物镜

    放大倍率：光学500X

    外观尺寸：1000*600*1400mm      1200*720*1600mm

    仪器重量：100Kg     120Kg

    影像分析系统： 日本WATEC 1/2″彩色CCD ，M2D-AT测量软体，可选配3D软体

    工作电脑一套（独显卡）