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美国矽翔微机电系统有限公司成都分公司

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气体质量流量计 (MF5000系列)

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  • 主要规格:
  • 用  途:
    •   MF5000系列产品用于各类工业气体测量和生产过程控制。这类流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作。本产品适用于各类清洁气体的应用;可用于各类管径(1~22mm);易安装、无需温度压力补偿、压损小;采用直接测量,可替代传统旁路热式或压差原理的流量计,并可配以多种信号输出,通过通讯接口实现网络管理功能。

        产品特点:

        1、MEMS传感器芯片。

        2、传感器灵敏度高,极小的始动流量,低至8mm/sec。

        3、传感器采用热式能量平衡质量流量原理,直接感应质量流量,无需温度及压力补偿,保障了传感器的高精度计量。。

        4、极快的响应时间,快至10msec。

        5、极低的压力损耗。

        6、在单个芯片上实现了多传感器集成,使该传感器的量程比大大提高。

        7、标准8~24V供电。

        8、与传统的热式质量流量技术相比,具有更加优良的零点稳定性,

        9、良好的重复性。

        10、质量流量测量范围宽,可专为客户定制。

        11、LCD可同时显示瞬时流量和累积流量。

        12、可选温度输出功能。

        13、流量计可选配标准工业通讯接口,实现远程网络管理。

        14、可选脉冲输出功能,能与当前流量计管理系统兼容。

        15、体积小,安装方便。

        16、流量计内径可定制为小至1mm,大至22mm(7/8")。

        除选型表中所列型号外,本公司也可根据用户的特殊要求定制用户所需产品(如其他安装方式等)。如有需要,请直接与厂商联系。本系列流量计的执行标准为:Q/77453766-1·1-2006;参照执行标准:ISO-14511;GB/T20727-2006;本系列产品生产许可:CMC-川制00000360号;CMC-沪制01150240号;防爆许可证:GYB06443。

        产品选型:

        型号

        MF5003

        MF5006

        MF5010

        MF5012

        适用介质

        清洁气体

        清洁气体

        清洁气体

        清洁气体

        压力/温度

        <3MPa/-20~65℃

        <3MPa/-20~65℃

        <3MPa/-20~65℃

        <3MPa/-20~65℃

        通径范围

        3mm

        6mm

        10mm

        12mm

        量程

        0.05-15L/min

        0.2-5L/min

        0.5-200L/min

        0.5-300L/min

        测量精度

        ±(1.5+0.5FS)%

        ±(1.5+0.5FS)%

        ±(1.5+0.5FS)%

        ±(1.5+0.5FS)%

        重复性

        ±0.75%

        ±0.75%

        ±0.75%

        ±0.75%

        供电

        8~24VDC

        8~24VDC

        8~24VDC

        8~24VDC

        输出(可选)

        LCD显示/RS485orRS232/4-20mA

        LCD显示/RS485orRS232/4-20mA

        LCD显示/RS485orRS232/4-20mA

        LCD显示/RS485orRS232/4-20mA

        安装连接

        NPT-F

        NPT-F

        NPT-F

        NPT-F

    美国矽翔微机电系统有限公司成都分公司

    张志英

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