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气体质量流量计
- 主要规格：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM;0～1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
- 用 途：
- 本公司产品广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。
- 1、用途和特点
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）/气体质量流量计(Mass Flow Metre)于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232 连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。
2、气体质量流量控制器的命名方法
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条件和命名方法。
3、主要技术指标:
序号 项目 内容
① ②
１ 流量范围 0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM;
0～1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
2 准确度（%F.S） ±1%F.S
3 线性(%F.S) ±(0.5～2)%F.S ±(0.5～1)%F.S
4 重复精度(%F•s) ±0.2%F.S
5 响应时间(sec) 电特性：＜10；气特性：＜1～4
6 工作压差范围（MPa） 0.05～0.5
7 耐压（MPa） 3，10
8 工作环境温度（℃） 0～65
9 输入输出信号电压 0～+5.00V
10 电源 +15V 500mA，-15V 500mA（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
11 外形尺寸（mm） 130*28*121
12 重量约（kg） 1.0
注意:
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 ---273.15K ( 0℃ );
气压 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 满量程值
成都莱峰科技有限公司（销售部）
张生
- 地址：
- 中国.成都.成华区.泰兴路36号418(二环北四段)
