型号VMS ergo 基本参数:
X/Y测量范围150 x 100 [mm]
Z轴测量范围150 mm (可选择Z轴测量)
分辨率1µm(选项0.1um)
测量精度1,8µm + 0,005 x Lµm ( L in mm)
物镜放大倍数2:1(标配)(1:1, 5:1, 10:1 and 20:1可选)
摄像显示CMOS彩色摄像1280 x 1024
高分辨率照明LED ring-illumination, coaxial transmitted- and incident-illumination
重量approx. 35 kg