影像测量工具显微镜系列:
X,Y轴测量范围:100X100mm或150X100mm
Z轴测量范围:50mm或100mm(可选)
滚柱轴承导轨,光电钢质光栅尺,分辨率:0.1um
SCHOTT冷光源,光纤照明;亮度可调
测量精度:1.5 um + 0.005L um
三轴电机驱动控制
IMS或OMS测量分析软件
外型尺寸:450mm X 508mm X 590mm
最大承重:8Kg;仪器重量:75Kg
特型显微镜:SM 棒型显微镜,ZM1 定中心显微镜,FLZ 校准显微镜
FRT纳米表面测量仪,白光干涉仪
***粗糙度测量***轮廓测量***三维形貌测量 德国FRT测量系统应用于所有类似的表面分析,采用一个或多个传感器高精密的测量轮廓 、 粗糙度、形貌特征和薄膜厚度等。适合研究开发和生产质量控制,仪器采用光学传感器进行非接触无损伤测量,工作距离大,快速输出2D,3D测量数据。 应用范围:精密光学元件轮廓和粗糙度测量,半导体元件,微电子,纳米材料分析,摩擦分析,薄膜厚度测量,微细结构分析等。