MS4性能参数：

　X,Y轴测量范围：150X150mm或250X150mm或250X200mm

　Z轴测量范围：50mm或100mm(可选)

　滚柱轴承导轨，光电钢质光栅尺，分辨率：0.1um

　SCHOTT冷光源，光纤照明；亮度可调

　测量精度：1.5 um + 0.005L um

　三轴电机驱动控制

　IMS或OMS测量分析软件

　外型尺寸：530mm X 670mm X 691mm最大承重：15Kg；

　仪器重量：125Kg

　X,Y轴测量范围：100X100mm或150X100mm

　Z轴测量范围：50mm或100mm(可选)

　滚柱轴承导轨，光电钢质光栅尺，分辨率：0.1um

　SCHOTT冷光源，光纤照明；亮度可调

　测量精度：1.5 um + 0.005L um

　三轴电机驱动控制

　IMS或OMS测量分析软件

外型尺寸：450mm X 508mm X 590mm

最大承重：8Kg；仪器重量：75Kg