检测认证人脉交流通讯录
- 韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气. 处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。 主要有以下优点： 1. 整机设计美观, 安全标准。 2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。 3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高 4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
