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1、SEM可对样品表面进行形貌观察。
2、SEM放大测试位置可以对镀层厚度进行测量，对粒子尺寸进行测量。
3、异物分析：扫描电子显微镜（SEM）可放大测试区域，再用EDS对材料表面进行元素分析，尤其是异物分析。
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