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若使用镍、钴和钙的氟化物作为催化剂能显著提高上述反应速率，使用Ag₂O或Ni₂O₃则可以在零度时引起氟和氙的爆炸反应。一些氟化物则对反应催化具有选择性，例如在Xe：F₂=1:10，温度为120℃时，使用氟化镁作为催化剂，产物只有XeF₂，若使用二氟化镍作为催化剂，产物则只有XeF。
氙的三种氟化物在室温下都能稳定存在。
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