检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：电子束光刻E-beam
- 价格型号：Raith150-Two
- 仪器分类：刻蚀设备
- 应用领域：
- 所属单位：苏州生物医学工程技术研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：Raith
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：1.热场发射肖特基源 2.电子束能：20 eV-30 keV之间可调 3.最小束斑 2nm 4.最小特征尺寸 <= 10 nm 5.拼接精度 <= 35 nm 6. 套刻精度 <= 35 nm 7. 最小光栅周期 <= 40 nm 8. 最大晶片尺寸100 mm 9. 束斑形状 高斯圆形束 10. 束路径是无cross-over的模式，可获得极高束流密度 11. 电子束电流 5pA-20nA
仪器用途：应用于低温电子器件、光电子器件、量子结构、输运机制、微机电系统（MEMS）等领域
收费标准：800元/小时，包括光刻胶费用
机组负责人：张志强 0512-69588058 15250478263 zhangzq@sibet.ac.cn
