检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：多靶磁控溅射仪
- 价格型号：Plassys MP500S
- 仪器分类：材料生长、镀膜设备
- 应用领域：
- 所属单位：苏州生物医学工程技术研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：Plassys
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：1.600 W射频源； 2.2 kW直流源； 3.底电极可加热到800℃ 且持续时间大于30min； 4.反应腔内径为500mm； 5.溅射前腔内压力：≤10-7Torr； 6.偏置电压：10V－300V可调； 7.薄膜厚度最大为3微米（AlN），薄膜不均匀性：≤±5%。
仪器用途：MEMS器件中的氮化铝(AlN)压电薄膜制备
收费标准：①450元/小时+②300元/次工艺＋③材料费: 50元/10nm(Au及合金、Pd)或75元/10nm(Pt) 或50元/100nm (其它材料)
机组负责人：周连群 0512-69588061 15262484019 zhoulq@sibet.ac.cn
