技术指标:1.操作功率:220V, 50Hz, 10A(不含冷凝器); 2.蒸发腔室操作温度:180℃; 3.原料仓容量:125 克; 4.裂解腔室操作温度:650℃-700℃; 5.沉积腔室尺寸:12英寸直径X 12”高,不锈钢电抛光,带观察窗; 6.机械制冷器FTS(-90℃); 7. 8.4 CFM @ 50 Hz , Edwards直联式旋片真空泵。
仪器用途:实验室用涂覆设备,用于聚对二甲苯薄膜对电子产品等进行三防保护的研制和设计
收费标准:150元/小时,20元/克N/C型Parylene
机组负责人:李传宇 0512-69588390 15995474648 lichy@sibet.ac.cn