技术指标:X-Y:Accuracy:+2um;Resolution:0.4um;Probing Area:X:+118mm,Y:+230mm,-110mm;MAX Speed:200mm/s。 Z-STAGE:Accuracy:+2um;Resolution:2um;MAX Speed:40mm/S;Chuck Planarity 15um。 Theta Rotation:-7.5O~+14.5O;Accuracy:+0.5um。
仪器用途:半导体测试
收费标准:100元/小时
机组负责人:朱卫良 0510-85866683 tengxin_test@yahoo.com.cn