技术指标:刻蚀速度:2nm/min(标准氧化钽片,2mm*2mm)
仪器用途:表面元素分析、表面元素化学态分析及相对含量分析、深度刻蚀
收费标准:200元/小时
机组负责人:朱立忠 025-57012267
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