检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：光刻机
- 价格型号：MA6/BA6
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：SUSS
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：Wafer size： 2inch，4inch，6inch and un-normal small wafers Exposure mode：（Vac, hard, soft, proximity） Minimum line width：0.7μm（Vac） Overlay Accuracy： 0.5μm
仪器用途：用于实验室研发，小批量生产的高分辨率光刻系统
收费标准：800元/小时，超净费用另付
机组负责人：张嫔 62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
