检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：高能离子注入机
- 价格型号：NV-GSD/HE
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：SUMITOMO
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：注入能量：10keV～1MeV（单价离子）; 注入剂量：1E11～1E17 ions/cm2; 角度：±11°; 样品：6英寸（向下兼容），17片; 目前可进行硼、磷、氟、铝、氮、氩等离子注入.
仪器用途：离子注入机是半导体器件掺杂工艺的关键设备，注入过程中可对剂量、能量、角度进行精确控制，从而改变半导体的载流子浓度与导电类型
收费标准：1600元/小时
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
