检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：电子束蒸发机（金属）
- 价格型号：ei-5z
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：ULVAC
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标："蒸发速率0.1A/s-20A/s，预蒸发功率10%-45%，蒸发功率0-60%，蒸发厚度：普通金属（Ni、Al、Ti）5nm-2000nm，贵重金属（Au、AuGe）5nm-500nm；工作真空：5E-4Pa，温度：20-300℃ *有挥发性物体严禁进入腔室。 *如需使用除硅片、蓝宝石、玻璃片以外的衬底进行该工艺，请联系设备负责人。 *三层及三层以内金属总厚度在350nm以内，1.5小时起预约。三层以内金属总厚度超出350nm和三层以上金属，2小时起预约。 *预约工艺请选择工艺所需金属及厚度，填写金属及厚度需真实，由于客户填写金属及厚度与实际工艺金属及厚度有误，工艺员有权取消该次工艺，由此产生的费用有客户自己承担。如填写该工艺的金属及厚度有疑问，请联系设备负责人。
仪器用途：主要用于蒸发Ti、Al、Ni、Au、AuGe、Cr、Pt等金属薄膜，蒸发速率0.1A/s-20A/s可调，最大蒸发厚度可至2000nm。一次可蒸镀两寸片180片，四寸片和六寸片8片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%。最少1.5小时起预约。由于加班时无人员轮换，每日18:00-19:00时为加班人员短暂休息和用餐时间，涉及到贵重金属的使用，工艺时需有工作人员在场，非工艺特别赶的情况，请尽量避开预约此段时间。
收费标准：大夹具(180片2寸) Au及合金: 600元/小时＋300元/次工艺＋250元/层＋240元/10nm； 其它金属(Al,Cr,Ni等): 600元/小时＋320元/次工艺＋200元/100nm。 小夹具(3片2寸)： 600元/小时＋300元/次工艺＋250元/层＋80元/10nm；
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
