或者

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称:热蒸发镀膜设备
  • 价格型号:定制
  • 仪器分类:其它
  • 应用领域:
  • 所属单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 所在地点:
  • 产  地:
  • 产  商:定制
  • 价  值:0
  • 购置日期:0000-00-00

技术指标:In蒸发最大电流200A。3um厚度起,最大单次工艺10um。 Ag蒸发最大电流150A。1um厚度起,最大单次工艺3um。

仪器用途:蒸镀In、Ag等材料。In单次加工一个4英寸样品,尺寸向下兼容!Ag单次加工3个2英寸样品,尺寸向下兼容!

收费标准:230元/小时+160元/次工艺+50元/1000nm(In)

机组负责人:张嫔  0512-62872625  pzhang2008@sinano.ac.cn

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所



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