技术指标:In蒸发最大电流200A。3um厚度起,最大单次工艺10um。 Ag蒸发最大电流150A。1um厚度起,最大单次工艺3um。
仪器用途:蒸镀In、Ag等材料。In单次加工一个4英寸样品,尺寸向下兼容!Ag单次加工3个2英寸样品,尺寸向下兼容!
收费标准:230元/小时+160元/次工艺+50元/1000nm(In)
机组负责人:张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
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