检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：紫外光刻机
- 价格型号：URE-2000/35
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：定制
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：样品面积为2寸，4寸，6寸标准片和碎片。灯源采用350W直流高压汞灯，波长使用为365nm为主的宽带光源，曝光最大面积150mm*150mm。 照明均匀度±4％，对准精度：±1微米。分辨率：1微米。光刻版为3寸，4寸，5寸，7寸标准光刻版。注意最小的光刻版为3寸，2.5寸光刻版不适合本机台使用。
仪器用途：紫外接近、接触式光刻制造小规模集成电路，半导体器件等
收费标准：200元/30分钟
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
