技术指标:可以沉积金,锡,镍,铜4种金属。夹具适用2、4、6寸硅片。
仪器用途:电镀(Electroplating)就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程,是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止腐蚀,提高耐磨性、导电性、反光性及增进美观等作用。
收费标准:设备使用费100元/小时
机组负责人:张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
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