技术指标:红外灯加热:最高至350℃;低温泵CRYO-U16P,极限压强3×10-5Pa以下,20min内可抽至3×10-4Pa。;膜厚分布:片内均匀性±5%以内,片间均匀性±5%以内。
仪器用途:圆片背面金属化
收费标准:面议
机组负责人:周悦 051085817270 package2006@163.com
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