技术指标:扫描长度范围:55mm;垂直范围:标准524μm;垂直分辨率: 1Å;划片测高精度达到0.1μm;最大采样点数达60,000数据点;探针传感器(LIS 3),探针压力为1至15mg,使用N-LIte传感器:0.03至15mg
仪器用途:圆片背面金属化厚度检测
收费标准:面议
机组负责人:周悦 051085817270 package2006@163.com
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